填补国内空白：我国建成首套高精度圆度基准装置，圆度测量不确定度从 20nm 降至 6nm

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中国计量科学研究院成功研制并建成了国内首套高精度圆度基准装置，此举填补了我国在圆度测量领域的空白。

该装置的落成标志着我国在精密圆度测量技术方面取得了重大进展，整体技术实力已达到国际先进水平。

圆度是几何量形位公差体系中的关键基础参数，其测量精度对精密主轴、先进光学元件以及半导体芯片等高科技制造产品的性能和装配质量具有直接影响。

此前，尽管我国已建立了平面度等几何量计量基准，但一直缺乏国家级的圆度量值溯源体系，这已成为制约高端装备自主研发及产业高质量发展的一大瓶颈。

新落成的圆度基准装置将为我国航空航天、高端机床、先进光学和半导体制造等战略性产业提供高可靠性、高精度的量值溯源支持。这不仅完善了国家几何量计量体系，也为建设制造强国和质量强国奠定了基础性的技术保障。

在技术上，该装置整合了多项自主创新技术，成功克服了高精度圆度评定、主轴误差分离以及滤波一致性控制等国际性的技术难题。

该装置提出了一种创新的圆度计算模型，该模型基于高精度圆度滤波和全面的数据利用，有效解决了分离标准半球后轮廓重构的稳定性问题。此外，我国自主研发的新型误差分离技术显著降低了主轴回转误差的影响，将圆度测量的不确定度从20纳米降低到6纳米，测量能力达到了国际领先水平。此次技术突破意味着我国已掌握了高精度圆度测量多个核心关键技术的自主权，打破了长期以来被国外技术垄断的局面。